Terdapat banyak kaedah penyediaan untuk filem nipis silikon amorf panel solar . Ini termasuk sputtering reaktif, PECVD, LPCVD, dll. Gas reaktan adalah siH4 dicairkan dengan H2. Substrat terutamanya kepingan kaca dan keluli tahan karat, dan filem silikon bukan gred yang diperbuat daripadanya boleh digunakan untuk mendapatkan sel simpang tunggal dan sel solar tandem masing-masing melalui proses sel yang berbeza.

Sel suria silikon amorf mempunyai potensi besar kerana kecekapan penukaran yang tinggi, kos rendah dan ringan. Tetapi pada masa yang sama, kerana kestabilannya yang rendah, ia secara langsung mempengaruhi aplikasi praktikalnya. Jika ia dapat menyelesaikan lagi masalah kestabilan dan meningkatkan kadar penukaran. Kemudian, sel suria silikon amorf sudah pasti merupakan salah satu produk pembangunan utama sel suria.

Sel suria filem nipis berbilang kompaun Untuk mencari pengganti sel silikon monohabluran, orang ramai telah membangunkan sel suria daripada bahan lain selain silikon polihablur dan sel suria filem nipis silikon amorfus. Ini terutamanya termasuk sebatian kumpulan gallium arsenide III-V, kadmium sulfida, telurida kadmium, dan bateri filem nipis indium selenide kuprum. Antara bateri yang dinyatakan di atas, walaupun kecekapan bateri filem nipis polihabluran kadmium dan kadmium sulfida polihabluran nipis adalah lebih tinggi daripada sel suria filem nipis silikon amorfus, kosnya lebih rendah daripada bateri silikon produk tunggal, dan ia mudah untuk besar-besaran, tetapi kerana kadmium adalah sangat toksik, Ia akan menyebabkan pencemaran yang serius kepada alam sekitar, oleh itu, ia bukan pengganti yang paling ideal untuk sel solar silikon kristal. Sebatian gallium arsenide III-V dan bateri filem nipis indium selenide kuprum telah mendapat perhatian yang meluas kerana kecekapan penukarannya yang tinggi.